Abstract:
В статье приведены результаты исследования микроструктуры пленок, полученных с помощью маг-
нетронной распылительной системы (МРС), собранной на базе ВУП-4. Разработанная МРС позволяет
получать пленки с высокой скоростью осаждения с минимальными видимыми дефектами в структуре.
Контроль скорости распыления производился за счет изменения напряжения распыления, которое
приводит к изменению тока, что увеличивает и/или понижает степень ионизации газа, и выбиванию
атомов мишени. Установлено, что с увеличением напряжения от 300 до 600 В скорость роста пленок
увеличивается от 2,4 до 4 ангстрем в секунду. Установлено, что при напряжении около 400 В гранулы,
составляющие пленку, имеют более крупную структуру, чем в пленках, полученных при 500 и 600 В.
Проведен элементный анализ пленок, полученных методом МРС.
