Abstract:
Разработана электрическая схема управления и коммутации вакуумной системы поста, собранного
из комплектующих деталей и частей вышедших из строя установок ВУП-4 и ВУП-5. Показано, что при
разработке блоков питания наряду с традиционными деталями могут быть использованы специальные
микросхемы серии TL494CN, значительно упрощающие схему. Использование предложенного вакуумного
поста в научно-исследовательской работе позволит получить более качественные пленки и покрытия.
Тестовые испытания разработанной платы коммутации показали положительные
результаты.
